§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов 5-й разряд Характеристика работ. Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону. Должен знать: электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок; конструкцию обслуживаемого оборудования; правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок; правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов; электрофизические свойства взаимодействия полупроводник-металл, металл-металл; основы электротехники и порядок работы вакуумной техники. Требуется среднее профессиональное образование. Примеры работ 1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление. 2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 нанесение одного слоя MgFe2 (просветление). 3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора. 4. Пластины С ч As - напыление Ag с подслоем Сr. 5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий. 6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ-транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно или двухслойное напыление различными способами. 7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке. 8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия. 9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%). 10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал. | |
При копировании материалов активная гиперссылка на Все ЕТКС обязательна. © 2010 AllETKS.ru |