ALLETKS.RU
При копировании материалов активная гиперссылка на Все ЕТКС обязательна. © 2008 AllETKS.ru
Все ЕТКС в одном месте!
Номер выпуска ЕТКС: 20 Часть 1 Скачать выпуск в PDF формате -
 Наименование разделов ЕТКС: "Общие профессии производства изделий электронной техники", "Полупроводниковое производство"
Изменения от: 12 сентября 2001 г.
Документ, утвердивший выпуск: постановлением Минтруда РФ от 21 января 2000 г. N 5
Скачать в PDF формате -
|
§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов 4-й разряд Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напиленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа. Должен знать: устройство вакуумных установок различных моделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов; конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отыскания течей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процесса получения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения. Примеры работ 1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния. 2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам. 3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок. 4. Пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта. 5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь). 6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия. 7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал. 8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома. | |
При копировании материалов активная гиперссылка на Все ЕТКС обязательна. © 2010 AllETKS.ru | |