ЕТКС № 20 часть 1, § 133. Травильщик прецизионного травления

§ 133. Травильщик прецизионного травления

3-й разряд

Характеристика работ: Травление, химическая очистка деталей, диэлектриков, полупроводников, пластин и металлов до заданной толщины согласно технологической документации. Травление деталей с труднодоступными внутренними поверхностями и деталей с резьбой с сохранением данных размеров. Травление в расплавленной селитре, в горячих растворах кислот и щелочей. Травление окиси кремния, боросиликатного стекла, тонких металлических контактов. Ведение процесса растворения стального и молибденового кернов. Ведение процесса обработки в ультразвуковых ваннах. Промывание деталей на установке химико-динамического полирования. Настройка установки. Работа на микроскопах с целью определения качества поверхности при различных химических обработках. Приготовление электролитов и растворов хранителей заданных концентраций. Расчет и корректировка электролитов, фильтрация. Нейтрализация и регенерация отработанных электролитов и растворов. Определение скорости травления на контрольных деталях и корректировка времени травления. Определение отсутствия перекиси водорода, щелочей и кислот в промывной воде с помощью индикаторов.

Должен знать: устройство и правила эксплуатации оборудования различных типов для травления; устройство и правила эксплуатации установок ультразвуковой обработки; устройство и правила работы на микроскопах, контрольно-измерительных инструментах; значение качества травления, обезжиривания и очистки для дальнейших технологических операции; химические и физические свойства кислот и щелочей; составы и свойства травильных и обезжиривающих растворов; принципиальную схему процесса электролитической очистки; виды брака и методы его предупреждения.

Примеры работ

1. Детали медные, вкладыши - размерное травление в ультразвуковых установках.

2. Детали графитовые - травление.

3. Диоды туннельные - контролируемое электрическое травление.

4. Заготовки (лента) молибденовые и вольфрамовые - травление в ваннах, травление в расплавленной калиевой селитре, электротравление, химическое травление, осветление, промывание.

5. Катоды из сплава бериллия - травление.

6. Керамика специальная - травление в плавиковой кислоте.

7. Керн молибденовый - вытравливание из вольфрамовой спирали.

8. Корпусы приборов СВЧ - травление и химическая полировка с проверкой на микроскопе.

9. Кристаллы германия и кремния, пластины из ковара - точное травление.

10. Кристаллы германия и кремния, спаянные в стеклянный корпус - травление.

11. Кристаллы германия и кремния, собранные с кристаллодержателем - травление в растворе фтористоводородной кислоты.

12. Кристаллодержатели, шасси, колбы металлические - травление.

13. Оснастка для установок напыления - отмывка в "царской водке", сбор золота.

14. Переходы собранные - травление, травление в плавиковой кислоте при помощи ультразвуковой обработки.

15. Переходы, пластины кремниевые - силанирование.

16. Переходы, собранные с выводом - травление.

17. Пластины кварцевые - травление в бифториде алюминия при настройке ее на заданную частоту.

18. Пластины из полупроводниковых материалов - маркировка кислотой, реставрация, травление.

19. Пластины и слитки монокристаллического кремния - мелкое и глубокое травление на установках в открытых ваннах с последующей нейтрализацией отходов травителей.

20. Пластины полупроводниковых приборов и микросхем - химическая обработка в перекисно-аммиачных растворах; химико-динамическое полирование; реставрация (травление в растворе фтористоводородной кислоты, кипячение в азотной кислоте, травление в многокомпонентном травителе).

21. Пластины арсенида галлия - химическая обработка.

22. Пластины кремния - снятие боросиликатного стекла; обработка контрольной пластины перед измерением поверхностного сопротивления; смывка пластин после фотогравировки; отмывка пластин перед вжиганием; отмывка пластин перед напылением металлов; травление мезоструктур.

23. Пластины кварцевые - травление в плавиковой кислоте, никелирование; высокочастотные кварцевые пластины - травление в плавиковой кислоте.

24. Пластины кварцевые шлифованные и полированные с частотой от 45 до 200 мГц по 5-й механической гармонике - травление до заданной частоты.

25. Пленки на окисле тонкие - стравливание послойное.

26. Проволока, слитки алюминиевые, навески ванадия, титана, нихрома, никеля, спутники ситалловые, кремниевые - кипячение в органических растворителях; травление в растворах неорганических кислот; промывание.

27. Проволока и испарители вольфрамовые, оснастка и тара металлическая, из оргстекла - химическая обработка в растворах щелочей и кислот.

28. Проволока из тугоплавких металлов и их сплавов - травление, обезжиривание, нейтрализация методом протяжки.

29. Спаи металла со стеклом - размерное травление.

30. Транзисторы - травление.

31. Электроды эммитера и коллектора - травление.