ЕТКС № 20 часть 1, § 132. Травильщик прецизионного травления

§ 132. Травильщик прецизионного травления

2-й разряд

Характеристика работ. Травление, обезжиривание и нейтрализация деталей. Травление пластин полупроводниковых приборов и микросхем в кислотах, обработка в органических растворителях. Подготовка ванн для травления в кислотах и щелочах. Корректировка температуры ванн. Загрузка деталей в кассеты или наклеивание их в подставки для травления. Работа с электронагревательными приборами. Регулирование процессов травления по заданным режимам. Контроль процесса травления и определение качества травления при помощи измерительного инструмента. Сушка деталей. Обработка тары, оснастки, приспособлений и химической посуды для особо чистых реактивов в моющих растворах и органических растворителях. Предупреждение возникновения брака.

Должен знать: наименование и назначение важнейших частей, принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и правила эксплуатации однотипного оборудования для травления и обезжиривания; назначение отдельных этапов процесса и последовательность их выполнения; основные режимы травления, обезжиривания и очистки; составы применяемых травильных и обезжиривающих растворов; методы контроля чистоты поверхности; применяемый контрольно-измерительный инструмент, основные свойства кислот, щелочей, применяемых материалов, виды брака; электротехнику и электрохимию в пределах выполняемой работы.

Примеры работ

1. Блоки пьезокварца, выводы, кожухи, накладки, детали и реле радиоизделий из черных, цветных металлов и сплавов - травление.

2. Детали и эмиттеры фуродитовые - электрохимическое травление.

3. Детали простые для магнетронов - химическое и электрохимическое травление.

4. Детали корпусов полупроводниковых приборов - травление в органических растворителях и кислотах; промывание.

5. Детали из нержавеющей и легированной стали - химическое полирование и травление.

6. Детали с мелкой резьбой - травление.

7. Изделия посудные (цилиндрические и плоские) и арматура к ним - травление.

8. Изоляторы и баллоны кварцевые - травление в 100%-ной плавиковой кислоте.

9. Кварцевые и кремниевые лодочки и кассеты - травление в плавиковой кислоте и хромовой смеси; промывание.

10. Корпуса интегральных схем, блоки арматуры - травление, промывание, обезжиривание и сушка основания.

11. Кристаллы пьезокварца - травление в плавиковой кислоте.

12. Пластины, кристаллы германия, кремния и переходы - подготовка к травлению методом химико-динамического полирования после механической обработки; химико-динамическое полирование в готовом травителе; травление пластины с одной стороны и защита другой стороны химически стойкими лаками; обезжиривание и промывание.

13. Пластины - качественное промывание пластин перед фотолитографической обработкой и кипячением в кислотах (соляной, серной, азотной, плавиковой) и органических растворителях.

14. Пластины кварцевые - промывка и кипячение в кислотах (соляной, серной, азотной) до травления и перед металлизацией.

15. Пластины кварцевые плоские с двухсторонней сферой с частотой до 15 мГц - травление до заданной чистоты.

16. Пластины кварцевые низкочастотные - травление.

17. Пластины и слитки монокристаллического кремния - травление на установках в открытых ваннах.

18. Проволока из различных металлов разного диаметра - химическое и электрохимическое травление и очистка.

19. Скобы, шасси, спинки, планки, платы, основания и другие механические детали - травление.

20. Слитки, прутки и отходы - травление.

21. Спецприборы - химическая полировка выводов.

22. Стакан спецприбора с вваренными выводами - травление.

23. Стеклокомплекты - химическое обезжиривание.

24. Элементы кристаллические шлифованные и полированные - химическая очистка.